물  품  규  격  서

순 번

품   명

단 위

수 량

비   고

1

국문

고온용 세라믹 탄화 장치

식

1

영문

High Temp. CVD system 

for 80mm seramic tube(3zone)

1. 용도

열을 통해 원료가스 또는 시료를 분해시켜 화학적 기상반응을 이용하여 보통의 고체 및 액체상의 반응에서 얻기 어려운 화학 조성의 효율을 쉽게 얻기 위함.

2. 장비의 구성

가. End chamber #1(80mm)

1) Material : STS304

2) Surface treatment : Electro polishing

3) Support bracket (height control available)

4) Port

-  1/4”lok port (1)

-  1/4”Compression port (1)

5) Quartz sealing flange, Compression ring & O- ring

(Water in/out cooling type, double wall structure)

나. End chamber #2(80mm)

1) Material : STS304

2) Surface treatment : Electro polishing

3) Support bracket (height control available)

4) Port

-  NW25 port (3)

-  NW40 port (1)

5) Hinged type door (water- cooling)

6) Quartz sealing flange, Compression ring & O- ring

(Water in/out cooling type, double wall structure)

7) Pressure relief valve & vent valve

다. Gas supply unit

1) mass flow controller (2EA)

±1% of set point for 20 to 100% Full scale / ±0.2% of Full Scale for 2 to 20% Full Scale

2) Diaphragm valve (1/4”VCR type, Hign temp, Manual Type)

Operation temp : 200℃, metal seat

3) MFC power supply & readout (2ch)

4) Gas supply unit install panel

라. Moving rail & Frame

1) Al profile frame & Base plate

2) LM rail guide & bearing unit for alumina tube exchange

마. Vacuum measurement unit

1) Low vacuum gauge : to 10(- 3) Torr

2) Power supply & readout

바. Pumping unit

1) Rotary pump (400LPM, Chemical type: Fombline oil, Kalrez seal)

2) Angle Valve (NW40, Manual)

3) Pressure control valve (NW40)

4) Foamed bellows (NW25x1000L) & NW25 pumping pipe

5) Pumping adaptor, clamp & centering

사. Capacitance Manometer

1) Heated to 100℃, 100Torr

아. Quartz Tube

1) ∅80 x 1200L

자. Furnace & controller

1) Heating zone : ∅80mm x 200 x 250 x 200 mm (3zone)

2) Operation temp : 1,400℃ / Temp. uniformity : ±1℃ in 500mm

3) Temperature controller : Yokogawa UP- 35A

4) Reference thermocouple (R- type ∅6 x 1000L)

3. 성능 및 규격

가. End chamber set

-  End chamber는 reactive tube 양끝단에 장착되는 chamber이며, 공정중에 필요한 가스 및 진공을 측정할 수 있는 unit들이 장착될 수 있게 제작된다. 1번 End chamber는 gas가 주입되는 chamber로 Gas input port 및 내부온도 측정용 Thermocouple이 삽입될 수 있는 port로 구성된다. 2번 End chamber의 경우 Pumping 및 Vacuum측정 unit이 장착되도록 구성된다.

-  두 chamber 모두 냉각수가 순환하는 구조로 제작되며, door를 장착하여 시료를 넣거나 빼기 쉽도록 제작한다. chamber support는 높낮이와 각도 조절이 용이하도록 하고, chamber 하부에 레일을 장착하여 tube교체가 용이하도록 제작한다.

-  실험에 사용되는 반응 가스의 완벽한 제어를 위하여 장비의 밀폐성이 중요하기 때문에 장비 내·외부의 누설이 없는 구조로 설계되어야 하며, 10- 10mbar·liter/sec의 Helium leak rate이하로 측정이 가능한 leak detector로 밀폐성 여부를 확인한 장비이어야 한다.

나. Gas supply unit

-  Chamber내에 공정가스를 일정하게 주입하여 사용할 수 있도록 Mass flow controller를 이용하여 제작한다. Mass flow controller는 높은 정확도를 가진 제품을 사용해야 하며, 최대 유량의 2~20%영역에서 ±0.2%, 20~100%영역에서 ±1%의 정확도로 제어하도록 한다. MFC 각각에 200도 온도에서 사용가능한 Metal seal의 Diaphragm Valve를 장착하여 온도 및 leak 안정성을 갖도록 제작하며, 혼합가스를 사용할 수 잇도록 gas tank를 제작하여 혼합 및 개별 가스 주입이 가능하도록 제작한다.

다. Moving rail & Frame

-  Al profile frame을 이용하여 제작하며 또한 LM rail guide 및 Bearing을 이용하여 chamber moving이 용이하도록 제작되어야 한다. rail은 녹방지를 위하여 레이던트 처리를 하여 장착한다. Frame cover는 분체도장하여 부식이 일어나지 않도록 하고 실험실 내 공간 활용을 위해 기존장비와 일체형으로 설치 가능하도록 제작한다.

-  모든 제어기기는 frame과 일체형으로 제작되고 사용자의 조직이 용이하도록 제작한다.

라. Vacuum Measurement unit

-  Chamber의 저진공 Gauge로는 Convection Gauge를 사용하여 gauge의 진공도를 확인할 수 있는 controller를 장착한다.

마. Pumping unit

-  Pump는 기본 400LPM용량의 Rotary pump를 사용한다. 화학적 공정에 사용되므로 화학적 공정에 사용할 수 있는 Chemical type의 Pump를 사용하며, Oil 및 Sealing O- ring은 내화학성에 강한 Fombiln Oil 및 Karez O- ring을 사용한다. Pump와 System은 foame bellows를 사용하여 연결하며 Angle valve를 이용하여 Pump와 chamber사이를 분리할 수 있도록 제작한다. Valve앞에는 Pressure control valve를 장착하여 원하는 공정압력을 유지할 수 있도록 제작한다.

바. Reacting Tube

-  반응로는 1450도의 고온에도 안정적으로 사용 가능한 Ceramic tube를 사용하고, 사이즈는 70x80x1200mm로 제작, 양끝단에 진공리크가 없도록 연마 처리하여 제작한다.

사. Heating Method

-  열처리는 고온용 Furnace를 이용하며 3개의 영역으로 구성된다. 실험 조건상 탄화 물질의 크기에 따라 탄화 효율이 높도록 500mm 구간에서 온도가 균일하도록 제작하고 사용온도는 1400℃이다. 3존 모두 Programmable PID controller를 장착하여 최대온도 이내의 전 영역의 온도 범위까지 사용자가 원하는 온도를 사용할 수 있도록 제작한다.

-  제어온도와 내부 온도의 조건 형성에 필요한 R- type 온도센서를 제공한다.

아. Capacitance manometer

-  Capacitance manometer는 0.01~100torr 영역대로 지정하여 사용하며, 정확도 및 화학정 공정에서 오염을 방지하기 위해 Heating type으로 장착한다.

4. 납품 및 설치

가. 사용자가 원하는 곳에 납품 및 설치를 완료한다. 납품 및 설치가 완료된 후 최종사용자와 함께 처음부터 장비운전가지 진행함으로써 최종사용자에게 각 Part별 사용방법을 함께 숙달한다.

-  Utility check

-  Pump check

-  Furnace heating check

-  Gas check

-  Final test

5. 납품 후 계획

가. 사용자 교육 계획

-  Utility 숙지 상황 및 안전관리 교육 진행

-  각 부분별 사용방법 교육 및 주의사항 & 장비 이상 자가진단 교육 진행

-  장비 가동 1달 뒤 재방문 및 재교육 진행

나. 기술 지원 계획

-  정기 점검 및 수시 점검 방문시 장비 확인

-  필요한 기술 지원 요청시 자료 준비 및 기술지원 준비

-  필요 자료 요청시 자료 준비 및 자료 발송

다. 유지 보수 계획

-  정기점검

∙ 1회 / 3개월 현장 방문 조치 및 확인

∙ 사용자 미팅 진행 → 사용시 애로사항 및 문제점 체크 및 조치

∙ 정기 점검시 소모품 및 재료 준비 → 이상 징후 발견시 현장 조치

-  수시점검

∙ 수시로 사용자와 유선 및 무선을 통한 애로사항 및 문제점 확인

∙ 간단한 문제 발생시 사용자 조치 도움 및 필요시 현장방문 조치

-  문제 발생

∙ 문제 발생 접수시 문제 확인 및 숙지

∙ 문제 발생 관련 물품 준비 및 2일 이내 현장 방문 조치

∙ 조치 완료 후 문제점 내용 전달 및 원인 설명 후 정상작동 확인

6. 기타

가. 납품 : 계약일로부터 60일 이내

나. 설치 : 현장설치도

다. 하자보증 : 설치 후 1년 무상A/S

-  무상보증 기간 내에 발생되는 문제점은 신속히 처리하며, 사용자의 잘못으로 인한 고장 발생이 아닌 경우 무상으로 교체 또는 수리 조치 한다.

-  수리 또는 교체한 부분에 대한 무상보증기간은 수리 또는 교체한 날로부터 1년으로 한다.

-  정상 운전 중 문제가 발생할 경우, 원인 분석에 적극 협조하여야 하며, 즉시 설치 현장을 방문하여 정비 및 원인분석을 진행한다.

-  1개월 이내 CMC 탄화 검증을 해야 하고, 사용자의 요청에 의해 장비 개조가 필요하면 진행하도록 한다.

-  Setup 완료 시점부터 3일간 매일 1회 이상 공정 진행후 매일 1회 공정 결과에 대하여 담당자와 확인하여 공정 최적화 검증을 실시한다.

-  이후 4주간 매주 1회 이상 공정 진행 후 탄화 효율성 및 공정 재현성 검증을 실시한다.

라. 배송비 : 배송비는 물품단가에 포함

마. 물품 관련 문의: 전주대학교 탄소연구소(063- 220- 3157 / 3158)

※ 상기 규격을 만족하는 동급 또는 동급이상의 타사 제품으로 견적제출 가능 (사업부서 확인 후 견적 제출)

※ 입찰자가 면세사업자인 경우, 견적서는 반드시 부가가치세를 포함한 가격을 제출해야 하며, 입찰결과 낙찰자가 면세사업자인 경우 낙찰금액에서 부가가치세 상당액을 차감한 금액을 계약금액으로 한다.